-
陈波
-
-
- 所属机构:沈阳芯源微电子设备有限公司
- 所在地区:辽宁省 沈阳市
- 研究方向:电子电信
- 发文基金:国家科技重大专项
相关作者
- 谷德君
- 作品数：52被引量：12H指数：2
- 供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
- 研究主题：半导体行业 湿法处理 晶片 晶圆 承片台
- 陈焱
- 作品数：17被引量：3H指数：1
- 供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
- 研究主题：掩膜板 硅片 平板显示器 光刻胶 薄片状
- 王永斌
- 作品数：3被引量：0H指数：0
- 供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
- 研究主题：薄片状 硅片 交叉污染 微电子 酸雾
- 孙大伟
- 作品数：2被引量：1H指数：1
- 供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
- 研究主题：硅片加工 单片 刻蚀机 湿法刻蚀 湿法
- 宗润福
- 作品数：12被引量：4H指数：1
- 供职机构：沈阳芯源微电子设备有限公司
- 研究主题：显影 工艺过程 集成电路制造 基片 立式
