白震
作品数: 11被引量:0H指数:0
  • 所属机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
  • 所在地区:上海市
  • 研究方向:自动化与计算机技术

相关作者

魏劲松
作品数:146被引量:44H指数:3
供职机构:中国科学院上海光学精密机械研究所
研究主题:超分辨 激光直写 光刻 数值孔径 掩膜