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武器装备预研基金(51309050805)

作品数：1 被引量：0H指数：0
相关作者：冯丽爽刘惠兰唐依创更多>>
相关机构：教育部北京航空航天大学更多>>
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文献类型

  • 1篇中文期刊文章

领域

  • 1篇机械工程

主题

  • 1篇陀螺
  • 1篇谐振腔
  • 1篇MOEMS

机构

  • 1篇北京航空航天...
  • 1篇教育部

作者

  • 1篇唐依创
  • 1篇刘惠兰
  • 1篇冯丽爽

传媒

  • 1篇中国惯性技术...

年份

  • 1篇2013
共 1 条 记 录，以下是 1-1
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排序方式：
MOEMS陀螺的空间谐振腔微镜调节新方法
2013年
空间谐振腔是空间谐振式MOEMS陀螺的核心敏感器件,构成谐振腔的微镜的调节是实现谐振腔的关键。提出了一种基于耦合原理调节空间谐振腔竖直微镜的方法。针对使用微加工工艺制作的竖直微镜,运用耦合原理将以往避免的调节耦合量作为有益量完成对微镜的空间调节。通过相应的调节基本结构及调节方法,对由相应的结构构成的微谐振腔分别进行了MATLAB及ANSYS仿真和分析。结果证实了此调节方法的可行性,基于该调节方法和调节结构完全能够实现微镜的高精度空间调节,对MOEMS陀螺的空间谐振腔的调整具有可靠的调节稳定性及更高的集成度,为空间谐振式MOEMS陀螺的实现提供一条新的路线。
刘惠兰王勇唐依创冯丽爽
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