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湖北省教育厅重点项目(020060007)
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1
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赵敏
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2007
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PLD法制备BST薄膜及其介电性能研究
2007年
采用脉冲激光沉积法制备Ba_(0.6)Sr_(0.4)TiO_3(BST)薄膜;研究不同氧压下的BST薄膜的介电性能.结果表明,当沉积温度为680℃时不同氧压下的BST薄膜均择优(210)面取向生长;氧压为0.01Pa时取向因子稍大,为0.6637;当氧压从0.1 Pa变化到0.001 Pa时薄膜的平均粒径增大.介电常数增大.
赵敏
曹万强
关键词:
脉冲激光沉积
BST薄膜
介电性能
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