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赵斌

作品数:15 被引量:12H指数:2
供职机构:辽宁工业大学材料科学与工程学院更多>>
发文基金:辽宁省自然科学基金教育部科学技术研究重点项目辽宁省教育厅资助项目更多>>
相关领域:一般工业技术电子电信理学金属学及工艺更多>>

文献类型

  • 6篇期刊文章
  • 6篇专利
  • 1篇学位论文

领域

  • 5篇一般工业技术
  • 4篇电子电信
  • 2篇理学
  • 1篇电气工程

主题

  • 6篇溅射
  • 5篇导电薄膜
  • 5篇AZO
  • 5篇AZO薄膜
  • 4篇单晶
  • 4篇铝靶
  • 4篇掺杂
  • 4篇磁控
  • 4篇磁控溅射
  • 2篇挡板
  • 2篇电阻率
  • 2篇钝化层
  • 2篇梯度掺杂
  • 2篇纳米
  • 2篇结构特性
  • 2篇扩散法
  • 2篇溅射沉积
  • 2篇AL掺杂
  • 1篇导电玻璃
  • 1篇电池

机构

  • 13篇辽宁工业大学
  • 1篇中国科学院嘉...

作者

  • 13篇赵斌
  • 11篇王冰
  • 11篇唐立丹
  • 4篇彭淑静
  • 4篇齐锦刚
  • 1篇穆柏春
  • 1篇刘亮

传媒

  • 3篇压电与声光
  • 1篇化工新型材料
  • 1篇电子元件与材...
  • 1篇辽宁工业大学...

年份

  • 7篇2017
  • 1篇2016
  • 4篇2015
  • 1篇2011
15 条 记 录,以下是 1-10
排序方式:
一种直流/射频共溅射法制备高浓度梯度AZO单晶导电薄膜的方法
一种直流/射频共溅射法制备高浓度梯度AZO单晶导电薄膜的方法,溅射使用的靶材为ZnO靶和Al靶,氧化锌靶安装在磁控溅射设备的射频靶上,铝靶安装在磁控溅射设备的直流靶上,同时在磁控溅射设备的真空室顶部的样品台安装单晶硅基片...
唐立丹王冰赵斌齐锦刚彭淑静
文献传递
磁控溅射AZO透明导电薄膜及其光电性能的研究被引量:7
2015年
采用磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备AZO薄膜。利用X射线衍射仪、原子力显微镜、四探针测试仪和透射光谱仪等手段研究了衬底温度对AZO薄膜结构、形貌、光电性能的影响。结果表明,所有的AZO薄膜均为纤锌矿结构且具有较好的c轴取向。薄膜表面平整,晶粒约为55.56 nm。随着衬底温度升高,薄膜电阻率先降低而后升高,当衬底温度为350℃时,电阻率最小,约为1.41×10–3?·cm,而且该薄膜具有较好的透光率,约为84%。
赵斌唐立丹梅海林王冰
关键词:AZO薄膜磁控溅射衬底温度结构特性
磁控溅射Al掺杂ZnO薄膜结构及光电性能研究被引量:2
2017年
采用磁控溅射法在石英玻璃衬底上制备不同铝(Al)掺杂量的铝掺氧化锌(AZO)薄膜。利用X射线衍射仪、原子力显微镜、四探针测试仪和透射光谱仪等手段研究了不同Al掺杂量对AZO薄膜结构、形貌、电学和光学性能的影响。结果表明,所有样品均为ZnO六方纤锌矿晶体结构,具有较好的c轴择优取向;随着Al掺杂量的增加,薄膜结晶稍有变差,电阻率逐渐降低,透过率逐渐增加。当Al掺含量为3%(vol,体积分数)时,AZO薄膜的综合性能更好,电阻率约3.52×10^(-3)Ω·cm,平均透光率可达到80%,光学禁带宽度达到3.23eV。
赵斌唐立丹王冰
关键词:AZO薄膜磁控溅射电阻率透光度
一种扩散法制备高浓度梯度AZO单晶导电薄膜的方法
一种扩散法制备高浓度梯度AZO单晶导电薄膜的方法,以单晶硅作为基片,使用的靶材为ZnO靶和Al靶,采用磁控溅射法室温下在单晶硅基片上交替进行AZO层和ZnO层溅射沉积,溅射沉积时靶材的功率保持不变,通过定时调节Al靶材挡...
唐立丹王冰赵斌齐锦刚彭淑静
文献传递
热处理温度对磁控溅射AZO薄膜的电学性能影响
2017年
利用射频磁控溅射制备了Al掺杂的ZnO(AZO)薄膜,通过X线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)及四探针等手段对薄膜进行了表征,研究了不同热处理温度对AZO薄膜的形貌、结构和电学性能的影响。研究表明,Al的掺杂体积分数约为1.2%,随着热处理温度的升高,薄膜颗粒大小均匀,AZO薄膜衍射峰强度先增强后减弱,当热处理温度为450℃时,该AZO薄膜的结晶性最好,电阻率最小为0.024 7Ω·cm。
赵斌唐立丹王冰
关键词:磁控溅射AZO薄膜热处理温度结构特性电阻率
表面处理碳纤维增强羟基磷灰石复合材料研究被引量:2
2011年
对碳纤维进行表面氧化处理和对氨基苯甲酸表面处理,以这种表面改性碳纤维与羟基磷灰石陶瓷复合,制备表面改性碳纤维增强羟基磷灰石复合材料,研究各种碳纤维的含量对复合材料的抗弯强度、断裂韧度的影响。结果表明,表面氧化改性碳纤维可以显著提高材料的性能,其断裂韧度可达基体断裂韧度的2倍,抗弯强度可达基体抗弯强度的2.48倍。尤其是对氨基苯甲酸表面处理的碳纤维的效果更好,其断裂韧度可达基体断裂韧度的2.25倍,抗弯强度可达基体抗弯强度的3倍。
穆柏春赵斌
关键词:羟基磷灰石碳纤维强韧化
梯度AZO薄膜的制备及其性能的研究
在当前的光伏市场中,晶体硅太阳电池仍起着关键性的作用,为了提高光电转换效率,其表面钝化是必不可少的。本文结合Al2O3和AZO薄膜的优点,设计了一种梯度AZO薄膜,薄膜中铝浓度从表面到晶硅界面处呈现梯度变化,界面处高的铝...
赵斌
关键词:沉积温度退火处理钝化层
文献传递
氩氧比对磁控溅射梯度AZO薄膜光电性能的影响
2017年
采用磁控溅射法在单晶硅和石英玻璃衬底上制备梯度铝掺杂的氧化锌(AZO)薄膜。利用X线衍射(XRD)、霍尔效应测试和紫外可见光分度计等研究了不同氩氧比(体积比)对梯度AZO薄膜结构和光电性能的影响。结果表明,氩氧比可以改善薄膜的结晶质量,且对电学性能的影响较大。随着氩氧比的增加,晶粒尺寸减小,结晶度稍有下降,薄膜的电阻率却显著降低,当氩氧比为1∶0时,薄膜具有最低的电阻率为6.85×10^(-4)Ω·cm。此外,所有的梯度AZO薄膜在可见光区的透过率均达到80%。
赵斌唐立丹王冰冯佳恒
关键词:磁控溅射
Al掺杂对ZnO纳米结构阵列的影响被引量:1
2017年
采用脉冲电磁场辅助水热合成法制备了高比表面积、高能面暴露的ZnO纳米片阵列,通过场发射扫描电镜(FESEM)、X线衍射(XRD)及X线光电子能谱(XPS)等手段测试纳米结构阵列的性能。结果表明,经过Al掺杂后的ZnO纳米结构由棒状转变为六边形的片状结构,当Al的摩尔分数为1%时,纳米片彼此交错,组织均匀,垂直于衬底,与传统纳米棒相比,纳米片具有更大的比表面积及更多暴露的高能晶面,并对纳米棒向纳米片的转变机理进行了详细的分析和探讨。
赵斌唐立丹王冰
关键词:ZNOAL掺杂纳米片纳米棒水热合成
一种直流/射频共溅射法制备高浓度梯度AZO单晶导电薄膜的方法
一种直流/射频共溅射法制备高浓度梯度AZO单晶导电薄膜的方法,溅射使用的靶材为ZnO靶和Al靶,氧化锌靶安装在磁控溅射设备的射频靶上,铝靶安装在磁控溅射设备的直流靶上,同时在磁控溅射设备的真空室顶部的样品台安装单晶硅基片...
唐立丹王冰赵斌齐锦刚彭淑静
共2页<12>
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