吴东岷
- 作品数：96 被引量：55H指数：5
- 供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
- 发文基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划应用光学国家重点实验室开放基金更多>>
- 相关领域：电子电信自动化与计算机技术机械工程理学更多>>
- 传感器件及其制作方法
- 本发明公开了一种传感器件，所述传感器件包括：传感部，包括第一半导体衬底、第一电极层和第二电极层，所述第一电极层和所述第二电极层设置于所述第一半导体衬底上，所述第一电极层和所述第二电极层之间具有间隔；检测部，独立于所述传感...
- 杨帅李加东苗斌丁祥桢古乐顾智琦王瑾吴东岷
- 硅基自锐式AFM探针的制备方法
- 本发明揭示了微纳机械传感器领域中的一种硅基自锐式AFM探针的制备方法，采用顶层硅厚度等于AFM探针针尖高度与悬臂梁厚度之和的双抛双氧SOI片为制备原料，在制备原料的顶面对应AFM探针针尖的位置光刻设置一针尖掩膜，在针尖掩...
- 李加东吴东岷
- 原子力显微镜探针批量制备工艺分析被引量：5
- 2016年
- 为实现低成本原子力显微镜(AFM)探针的制备,开展了基于6英寸(1英寸=2.54 cm)绝缘衬底上的硅(SOI)的AFM探针制备方法的研究,实验分析了采用KOH湿法腐蚀纳米硅针尖的时间对针尖形貌的影响,给出了纳米硅针尖的缺陷类型以及产生缺陷针尖的原因,同时针对深硅干法刻蚀过程中散热不均的现象,提出采用导热系数高的黏接材料来改善散热问题。实验结果表明,基于6英寸SOI制备的AFM探针悬臂梁厚度偏差为±0.5μm,成品率大于90%,对制备的自锐式AFM探针与商用AFM探针进行了测试对比,自制AFM探针的扫描质量达到了当前商用探针的水平,满足形貌表征的需求。
- 李加东苗斌张轲吴东岷
- 关键词：探针曲率半径
- 室温单电子晶体管的制备方法
- 本发明涉及一种室温单电子晶体管的制备方法。该方法为：在衬底表面上加工形成单电子晶体管的源极、漏极和栅极，并通过不同试剂的修饰处理令该衬底表面上的电极区域和非电极区域分别负载异种电荷，从而在衬底上形成静电漏斗结构；至少将该...
- 李加东吴东岷谢杰
- 面投影微立体光刻系统的开发和研究
- 2011年
- 面投影微立体光刻由于具有加工精确度高、分辨率高、速度快等特点而成为最有前途的微立体加工技术之一。本文介绍了实验室开发的用于复杂器件制作的面投影微立体光刻系统,该系统中采用LED模组作为光源,为了适用粘度大的固化材料的加工,设计新的树脂槽和涂覆系统。对系统中使用的投影镜头的光学分辨率以及树脂的工作曲线进行了测量,系统的加工横线分辨率可以达到14μm。利用该系统成功制作了齿轮的模型。
- 周庚侠班书宝吴东岷顾济华
- 关键词：复合材料
- 微型二维激光扫描像源及投影系统
- 本实用新型公开了一种微型二维激光扫描像源及投影系统。微型二维激光扫描像源包括：激光光源、透镜单元、扫描振镜单元、显示单元和控制单元，所述透镜单元和扫描振镜单元依次设置于所述激光光源和显示单元之间，所述激光光源至少用以发射...
- 沈文江吴东岷李敏余晖俊周鹏
- 一种硅片甩胶装置
- 本实用新型涉及一种硅片甩胶装置，包括设置于甩胶盘本体上的用于放置硅片的凹槽，凹槽中设有支撑硅片的凸台，凹槽的边缘设有固定硅片的台阶，凹槽与一真空通道相连通；甩胶盘本体上端面还设置有用于固定硅片的机械夹持机构；该硅片甩胶装...
- 王懋孙云飞吴东岷
- 一种MEMS激光雷达接收器
- 本实用新型属于光学领域，公开了一种MEMS激光雷达接收器，在同一光轴上，从物方至像方依次设置为：滤光片、大口径短焦镜头组、纤维光锥、APD阵列探测器；光线依次经过滤光片、大口径短焦镜头组聚焦在纤维光锥入射端面上，纤维光锥...
- 吴东岷范娜娜王懋
- 一种二维MEMS扫描激光雷达大视场信号接收系统
- 本发明属于光学领域，公开了一种二维MEMS扫描振镜激光雷达的大视场接收系统，包括：滤光片、大口径短焦镜头组、传像纤维光锥、APD阵列探测器；光线依次经过窄带滤光片、大口径短焦镜头组成像在传像纤维光锥入射端面上，传像纤维光...
- 吴东岷范娜娜王懋
- 太赫兹光源芯片、光源器件、光源组件及其制造方法
- 本发明提供一种太赫兹光源芯片、光源器件、光源组件及其制造方法，光源芯片包括：二维电子气台面；形成在二维电子气台面上的用于激发等离子体波的电极；形成在二维电子气台面下方的太赫兹谐振腔，谐振腔底面设置有全反射镜；以及光栅，其...
- 秦华孙建东黄永丹郑中信吴东岷蔡勇张宝顺
